欢迎光临大连科纳科学技术开发有限责任公司官网!
全国咨询热线:13604119622
联系我们
13604119622

手机:13604119622

邮箱:bd@daliankena.com

QQ:27486833

地址:大连市高新园区信达街57号

稀有气体纯化设备

型号原料气纯化后杂质指标7R-D≥99.999%O2、H2O、CO2≤10ppb,颗粒≤0.01μm6R-D≥99.99%O2、H2O、CO2,颗粒≤0.1μm7R-G≥99.999%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μm6R-G≥99.998%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm7R-DG≥99.999%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μ

产品详情


型号原料气纯化后杂质指标
7R-D≥99.999%O2、H2O、CO2≤10ppb,颗粒≤0.01μm
6R-D≥99.99%O2、H2O、CO2,颗粒≤0.1μm
7R-G≥99.999%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μm
6R-G≥99.998%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm
7R-DG≥99.999%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μm
6R-DG≥99.99%O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm


说明:

①D工序再生氢气消耗量为产品气的1%左右,指标要求:压力:≥0.2Mpa、纯度≥99.999%、露点≤-50℃、不含油类及硫氯砷等化合物;

②对氦气、氖气、氪气、氙气等贵重气体为了减少损耗可采用特殊工艺及措施;

③常用规格有:5、10、20、35、50、75、100Nm3/h等。

设备特点

•抗波动能力强,抗意外能力强,短时间断电、断水不影响产气纯度;

•具备完善的报警联锁系统,可实现无人值守全自动运行;

•可高压纯化,避免膜压缩机的污染。

稀有气体纯化设备-728x485-1.jpg


应用领域

单晶硅的冶炼、拉制,晶片外延保护气体; 碳纤维的生产过程;

大规模集成电路的研制与生产; 科研院所,大专院校;

混合气、标准气体的配制,超纯气体分析;


标签:

联系方式

大连科纳科学技术开发有限责任公司

电话:13604119622

QQ:27486833

电邮:bd@daliankena.com

地址:大连市高新园区信达街57号

采购:稀有气体纯化设备

相关产品/ RELATED PRODUCTS
在线客服
联系方式

热线电话

13604119622

上班时间

周一到周五

公司电话

13604119622

二维码
线