| 型号 | 原料气 | 纯化后杂质指标 |
| 7N-D | ≥99.999% | O2、H2O、CO2≤10ppb，颗粒≤0.01μm |
| 6N-D | ≥99.99% | O2、H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
| 6N-DD | ≥99.5% | O2、H2O、CO2、CO、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
| 6N-H(E)D | ≥98% | O2、H2O、CO2≤0.1ppm，H2≤0.1%，颗粒≤0.1μm |
| 5N-H(E)D | ≥98% | O2、H2O、CO2≤1ppm，H2≤0.1%，颗粒≤40μm |
说明：
①再生氮气消耗量为产品气的5—10%；
②再生氢气消耗量为产品气的1%左右，再生氢气指标要求：压力：≥0.2Mpa、无氧纯度≥99.999%、露点≤-50℃、不含油类及硫氯砷等化合物；
③HD系列的氢气消耗量及是否用E工序视原料气氧含量而定。
④常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm3/h等。
设备特点
抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；
抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；
具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；
可根据用户不同的原料气指标，采用相应的设计达到用户要求；
应用领域
化纤、橡胶产业循环干燥氮气保护气； 高纯单晶硅的冶炼、拉制；
光电产业、光伏太阳能的研制与生产； 钢铁行业热处理保护气；
科研院所、大专院校实验研究； 超纯气体分析。
客服