| 型号 | 原料气 | 纯化后杂质指标 |
| 7O-OD | ≥99.999% | H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb，颗粒≤0.01μm |
| 6O-OD | ≥99.99% | H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
| 7O-D | ≥99.999% | H2O、CO2≤10ppb，颗粒≤0.1μm |
| 6O-D | ≥99.99% | H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
说明：
①氮气、稀有气体不计算为杂质；
②再生气消耗量为产品气的5—10%；
③常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm3/h等。
设备特点
•抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；
•抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；
•具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；
•可根据用户不同的原料气指标，采用相应的设计达到用户要求；
应用领域
大规模集成电路的研制与生产； 单晶硅的冶炼、拉制；
混合气、标准气体的配制； 化工氧化；
科研院所，大专院校； 超纯气体分析；
客服